机床与液压

作者：周铁，吴永明，张毅

单位：广东工业大学机电工程学院；广东工业大学机电工程学院；广东工业大学机电工程学院

关键词：退火反应室;高均匀温场;COMSOL Multiphysics60系统;仿真分析

基金：产学研合作研发项目

SiC高温激活退火炉反应室的温度高、结构复杂，通工艺气体时易导致反应室内温度不均匀，影响产品质量。为获得高均匀温场的反应室，根据退火炉的设备数据建立反应室的物理模型；基于固体和流体传热、表面对表面辐射传热模型等，应用COMSOL Multiphysics6.0系统构建退火炉反应室仿真模型。通过改变工艺管、衬管结构，优化加热器距离、气体流量、隔热屏高度等参数来模拟退火炉反应室的温度分布情况。仿真结果表明：将工艺管和衬管设计为嵌套结构，加热器距离为9 mm、流量为25 L/min、隔热屏高度为178 mm时，最大温差由340 ℃降至±4 ℃，反应室内温场均匀性达到最优。

来源：2024年第2期

《机床与液压》期刊编辑部

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