机床与液压

作者：陈骏，丁斌，毛敏，陈宁，郭钢祥，祖洪飞

单位：浙江理工大学机械工程学院；南通市计量检定测试所；南通市计量检定测试所；浙江省计量科学研究院；浙江省计量科学研究院；浙江理工大学机械工程学院

关键词：孔类零件;低相干干涉;内表面;内径测量

基金：国家重点研发计划资助项目（2022YFF0606000）；江苏省市场监督管理局科技计划项目（KJ21125021）；浙江省市场监督管理局重大科研项目资助项目（20210107）；浙江省科技厅重大专项资助项目（2020C01028）

对孔类零件的内表面进行测量是判断其加工质量和使用寿命的重要手段。针对精密孔类零件内表面测量的需求，提出一种基于低相干干涉的内表面测量及信号处理方法，并搭建了完整的检测系统。对低相干干涉的测量原理进行了分析；搭建了以迈克尔逊干涉仪为主体，主要包含光源、探测器、数据采集仪、参考臂、样品臂等部分的检测系统；研究了干涉信号滤波以及包络峰值提取算法；最后，通过实验验证了此系统可以表征孔类零件的内部特征，并且其测量精度可达10 μm以内。

来源：2024年第5期

《机床与液压》期刊编辑部

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