机床与液压

作者：辜俊，凌志远

单位：华南理工大学材料科学与工程学院；华南理工大学材料科学与工程学院

关键词：螺杆式压电位移执行器;惯性黏滑原理;精密定位

为了掌握柔性铰链、螺杆滑轨、夹持力机构的相互关系，基于惯性黏滑位移原理，制作一种螺杆旋转步进驱动的压电位移执行器。采用有限元仿真计算对柔性铰链及夹持机构进行设计分析。施加单向锯齿波信号，在频率低于500 Hz时，该执行器位移输出速率稳定；前进、后退速率随频率和电压增大而线性增大，500 Hz/48 V下，前进、后退速率分别为11.51 μm/s和7.98 μm/s，平均步长分别为23 nm和16 nm；长行程往复循环运动时，前进、后退速率相对误差分别为12.85%、4.21%，具有良好的位移稳定性。

来源：2024年第8期

《机床与液压》期刊编辑部

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