机床与液压

作者：朱译文，曹自洋，徐文杰，杨凯

单位：苏州科技大学机械工程学院；苏州科技大学机械工程学院；苏州科技大学机械工程学院；苏州科技大学机械工程学院

关键词：微细铣削;单晶硅;灰色关联度分析;参数优化

为满足实际应用中对单晶硅微槽底部的表面粗糙度、上口尺寸精度以及材料去除率的需求，选择微细铣削的加工方法，并利用灰色关联度分析法对以上3种评价指标进行参数优化。通过设计正交试验获得评价指标的预测值，并分析了各个指标与工艺参数之间的关系；运用灰色关联法计算试验序列中各评价指标的灰色关联系数，并对各个试验序列的灰色关联度进行了排序，从而得到了最佳的工艺参数组合，并通过多次试验来验证其可行性，加工出了表面粗糙度为71.2 nm的微槽，提高其加工质量与加工精度。

来源：2024年第14期

《机床与液压》期刊编辑部

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