机床与液压

作者：张璐凡，孙贺贺，闫恒，张鹏启，姜薄士

单位：河南工业大学机电工程学院；河南工业大学机电工程学院；河南工业大学机电工程学院；河南工业大学机电工程学院；河南工业大学机电工程学院

关键词：柔性定位平台;屈曲分析;超精密定位;优化设计

基金：国家自然科学基金青年科学基金项目(51705132)；河南省科技厅自然科学项目(222102220088)；河南省教育厅自然科学项目(21A460006)

超高加速度宏微运动平台是一种超精密定位设备，柔性定位平台对宏微运动平台的稳定性起到至关重要的作用。为增加它的稳定性和安全性，采用有限元方法，通过静力分析、屈曲分析和响应面优化设计，来提高柔性定位平台综合性能。建立柔性定位平台三维模型，对模型进行有限元分析，得到最大等效应力、最大等效应变和负载乘数数据和云图。以柔性定位平台槽的尺寸和位置为优化变量，以负载乘数、最大等效应力及最大等效应变为优化目标进行响应面优化。结果表明：优化后的柔性定位平台在质量几乎不变的条件下负载乘数增加了1.7%，最大等效应力减少了4.3%，最大等效应变减少了4.7%，提高了超高加速度宏微运动平台的稳定性。

来源：2024年第20期

《机床与液压》期刊编辑部

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