机床与液压

作者：许有熊，庄广锋，朱松青，陈星宇

单位：南京工程学院自动化学院；日出东方控股股份有限公司；南京工程学院自动化学院；南京工程学院自动化学院

关键词：微动平台;压电;液压放大;动态仿真;实验研究

基金：江苏省研究生科研与实践创新计划（SJCX23_1190）；国家自然科学基金面上项目(52375292)

传统微动平台采用压电加柔性铰链的方式，存在柔性铰链刚度低、承受载荷小、易损坏等问题。针对此，将压电和液压放大技术的优点应用到微动平台上，提出一种液压放大式两自由度压电微动平台，建立其数学模型，分析其工作机制和性能特点。利用AMESim软件对液压放大机构进行结构性能仿真。结果表明：在腔体体积小、弹簧刚度小的情况下，液压放大机构的位移放大效果最好。搭建AMESim与MATLAB的联合仿真模型进行动态仿真。结果表明：所提液压放大式两自由度压电微动平台能实现高精度定位，为后续的实际应用奠定了基础。最后通过实验验证了仿真结果的准确性。

来源：2025年第4期

《机床与液压》期刊编辑部

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