机床与液压

作者：安高成，张建宇，刘宝玉，陈东良，肖让，郭嘉琪

单位：太原科技大学机械工程学院；太原科技大学机械工程学院；太原科技大学机械工程学院；太原科技大学机械工程学院；太原科技大学机械工程学院；太原科技大学机械工程学院

关键词：气液增压设备;输出力精度;自适应模糊PID控制

在芯片制造过程中，晶圆键合技术需将晶圆高精度粘合，其连接质量依赖于稳定且精确的压力控制。为了保证压力稳定且绿色环保，一般采用气液增压设备来实现这一过程。然而，气体刚度较低且密封件摩擦力不稳定，会干扰输出力的稳定性。针对晶圆键合所需的宽范围和高精度输出力，研制一款全新的气液增压设备。为了实现高输出力控制精度，搭建气液增压设备的数学模型，得到控制系统的近似传递函数；设计系统自适应模糊PID控制算法，并通过MATLAB/Simulink仿真对比所提算法和传统 PID 算法的控制效果，通过样机试验对仿真结果及控制算法优化结果进行验证。结果表明:所设计的自适应模糊PID控制器可以有效提高气液增压设备的控制精度，额定工况下其控制误差小于5‰，且具有较好的抗干扰能力。

来源：2025年第8期

《机床与液压》期刊编辑部

查看机床与液压杂志2025年第8期