机床与液压

作者：卢祖宏，黄希，刘书琪，郭浩平，董庆春，王恒

单位：南通大学机械工程学院；南通大学机械工程学院；南通大学机械工程学院；南通大学机械工程学院；富金森（南通）科技有限公司；南通大学机械工程学院

关键词：IC Tray;Halcon;机器视觉;光机电一体化设备

基金：国家自然科学基金青年科学基金项目（51405246）；南通市科技局项目（JC2023060）；南通大学产学研科技合作项目（23ZH081）

针对目前半导体封测环节中IC Tray在生产过程中存在的检测环节覆盖不足、人工依赖性高、检测效率低以及精度差等问题，对IC Tray的产品特性和生产工况进行分析，并设计出一种基于Halcon的IC Tray清洁检测设备。设计多个自动化工装模块，采用气缸、滚珠丝杠、直线运动模组、环形输送轨道协同送料，各个模块既能独立工作还能衔接运行，实现多料片全流程处理，减少了人员需求。通过自动化工装设计，配合工业风刀去除注塑颗粒等杂物，实现响应更快、自动化水平更高的输送去杂功能。设计机器视觉检测模块，利用Halcon视觉算法库设计视觉检测算法，对IC Tray边界特征和表面特征进行提取和识别，定位料片的缺陷区域，达到检测出缺陷料片的目的。根据设计方案搭建样机并进行功能测试，投入2 000片料片进行实验，结果显示设备正检率达99.7%，漏检率为0，单个料片平均检测时长为201.7 ms，满足企业生产现场的应用需求。

来源：2025年第15期

《机床与液压》期刊编辑部

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