机床与液压

北大核心,WJCI

国内刊号:44-1259/TH

国际刊号:1001-3881

机床与液压杂志2025年第22期:基于激光粉床熔化的硅表面变截面微通道设计

发布日期:

作者:马少昂,付婷,王江波,丁小康,张峰

单位:武汉科技大学机械工程学院;武汉科技大学机械工程学院;武汉科技大学机械工程学院;衢州学院机械工程学院;武汉科技大学机械工程学院

关键词:变截面微通道;激光粉末床熔化;成形质量

基金:国家自然科学基金面上项目(52175472);国家自然科学基金青年科学基金项目(12102311);浙江省自然科学基金项目(ZCLTGS24E0601)

与传统直型微通道相比,变截面微通道由于传热表面积增大,并且流动过程中热边界层会发生破坏并重新发展,强化了微通道换热性能,提升热量传递效率,因而具有更广泛的应用前景。为了满足芯片热管理需求,提出一种变截面微通道的激光加工方法。通过规划激光扫描路径,采用多熔道搭接的方法实现变截面微通道的加工,并通过数值模拟实现这一加工过程。通过多组仿真模拟,探究激光功率、激光扫描速度、扫描间距等参数变化对变截面微通道成形质量的影响。结果表明:激光参数的变化会造成表面凸起、表面凹陷以及形成内部孔隙等缺陷;当激光功率为200 W、激光扫描速度为0.8 m/s、扫描间距为80 μm时,能够获得较好的微通道成形效果,该参数组合可为实际加工工艺参数的选择提供参考。

来源:2025年第22期

《机床与液压》期刊编辑部

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