机床与液压

北大核心,WJCI

国内刊号:44-1259/TH

国际刊号:1001-3881

机床与液压杂志2025年第22期:200 mm晶圆立式搬运模组设计与试验

发布日期:

作者:许震,闵淑辉,高自成,罗义

单位:中南林业科技大学机械与智能制造学院;中南林业科技大学机械与智能制造学院;中南林业科技大学机械与智能制造学院;深圳市湘聚实业有限公司

关键词:立式搬运模组;滚珠丝杆;静动态特性

为满足立式氧化炉模组运行平稳度高、力矩波动小及高负载的需求,设计一种基于伺服电机、减速机与滚珠丝杆传动的立式搬运模组。采用ANSYS Workbench有限元分析软件对其静动态特性进行了仿真分析。同时,模拟实际工作环境进行试验,利用Indra Works Ds软件得到模组运行过程中的相关参数。结果表明:静力学仿真分析下模组最大变形量为2.194 4 μm;模态分析其工作频率(25 Hz)远远小于 1阶固有频率(51.848 Hz),表明模组动态特性良好,可避免共振现象;瞬态动力学分析中,模组最大变形量为3.066 1 μm,最大等效应力为3.355 3 MPa,满足结构强度要求。试验验证进一步表明:模组在600 N负载下平稳运行速度为0.125 m/s,波动在2%以内,力矩曲线波动在5%以内,整体运行平稳。研究为后续优化立式搬运模组的性能、提高工作效率提供了依据。

来源:2025年第22期

《机床与液压》期刊编辑部

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