机床与液压

作者：张利辉，王伟，刘强

单位：北京石油化工学院，精密电磁装备与先进测量技术研究所；北京石油化工学院，精密电磁装备与先进测量技术研究所；北京石油化工学院，精密电磁装备与先进测量技术研究所

关键词：宏微运动;微电子制造;定位平台;巨量转移

基金：国家重点研发计划项目（2021YFC0122700）

随着微电子设备需求持续增长，微电子产品朝着精密化方向发展，微电子制造业设备对大行程、高精度、快速响应定位平台的需求不断扩大。宏微运动定位平台具有高速、高精度和宏微运动耦合的特点，是微电子制造领域的关键设备，因此对超精密定位宏微运动定位平台的研发尤为重要。对宏微运动定位平台的国内外研究现状进行分析，并介绍典型平台架构。从宏微运动平台方案、驱动技术和定位平台控制系统3个方面对宏微运动定位平台的关键技术进行深入研究，指出高频往复运动将是今后重要研究方向，并对如何提升响应速度和提高重复定位精度提出建议。最后，阐述面向微电子制造领域的宏微运动定位平台的研发关键技术及未来方向，为后续宏微运动定位平台的设计提供参考。

来源：2025年第23期

《机床与液压》期刊编辑部

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