机床与液压

作者：张林鹏，郭钟宁，连海山，陈小军

单位：广东工业大学机电工程学院；岭南师范学院机电工程学院；广东工业大学机电工程学院；岭南师范学院机电工程学院；岭南师范学院机电工程学院

关键词：电泳辅助加工;微细超声加工;微流道;加工性能

基金：2023年度广东省普通高校重点领域专项项目（2023ZDZX3011；2023ZDZX3010）；广东省基础与应用基础研究基金项目（2022A1515011108）；湛江市海洋青年创新人才项目（2022E05004）

为改善微细超声加工中加工区域磨粒利用率低导致加工质量与效率不佳的问题，提出一种阳模电泳辅助微细超声加工新方法。利用超微磨粒的电泳特性，在加工过程中通过施加辅助电场将工作液中的超微磨粒吸引至加工区域，从而有效提高超微磨粒的利用率。基于加工原理，研制阳模电泳辅助微细超声加工微流道机床，并开展加工微流道性能研究。通过与传统微细超声加工（无电场辅助）在相同工艺参数下进行对比实验，系统评估该方法对微流道崩边率、过切率、加工深度和表面粗糙度4项关键性能指标的影响。结果表明：相比于微细超声加工，在其他加工条件相同的情况下，电泳辅助微细超声加工的微流道崩边率从13.57%降至7.95%，过切率从9.85%降至6.56%，表面粗糙度从1.11 μm降至0.62 μm，微流道深度从54 μm提高到了173 μm。因此，阳模电泳辅助微细超声加工可以有效提升微流道加工性能。

来源：2026年第1期

《机床与液压》期刊编辑部

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