机床与液压

作者：刘强，王凯毅

单位：北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所；北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所

关键词：针刺式巨量转移设备;双平台协同运动;动态对位;五次多项式插值

基金：北京市属高等学校高水平科研创新团队建设支持计划项目（BPHR20220110)

针对针刺式巨量转移设备静态对位模式存在的效率低、振动大及可靠性不足等问题，提出一种基于双平台动态协同对位控制方法。通过建立载晶平台与基板平台的X轴运动学模型，利用五次多项式插值算法精确规划载晶平台的变速轨迹，并在基板平台保持匀速运动的条件下，实现双平台的瞬时速度同步。通过三闭环PID伺服控制系统实现对双平台运动的精确控制。仿真结果表明：与传统静态对位模式相比，动态协同对位方案耗时减少23.37%。在实机测试中，芯片落位精度达±15 μm，设备单位时间产能由静态模式的1.5×105 UPH提升至1.8×105 UPH，有效解决了因电机频繁启停导致的机械磨损与低频振动问题，为高精度连续化生产提供了可行的解决方案。

来源：2026年第2期

《机床与液压》期刊编辑部

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